声表面波滤波器的结构组成
声外表波滤波器就是在压电基片资料外表产生和传播、且振幅随深化基片资料的深度增加而疾速减少的弹性波。它采用半导体集成电路的平面工艺,在压电基片外表蒸镀一定厚度的铝膜,把设计好的两个IDT的掩膜图案,应用光刻办法堆积在基片外表,分别作为输入换能器和输出换能器。其工作原理是输入换能器将电信号变成声信号,沿晶体外表传播,输出换能器再将接纳到的声信号变成电信号输出。
声外表波滤波器滤波器的根本构造是在具有压电特性的基片资料抛光面上制造两个声电换能器——叉指换能器(IDT),当给声外表滤波器输大端输入信号后,在电极司压电资料外表将产生和外加信号频率相同的机械振动波。该振动波以声波速度在压电基片外表传播,当该波传至输出端时,由输出端梳状电极构成的换能器将声能转换成交变电信号输出。
由此可知声外表波滤波器是由两个换能器组成的,输入端换能器将电能转换成声能发出声外表波,而输出端换能器则是将接纳到的声外表波声能转换成电能输出。声外表波滤波器就是应用压电基片上的这两个换能器来产生声外表波和检出声外表波的,以完成滤波的作用。
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